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安堉、兆米及偲倢展現創意 D talk新創助產業界加速智慧化

DIGITIMES企劃

對D Forum忠實聽眾來說，D talk議程必然不陌生，它是由DIGITIMES打造的發展平台，目的在於促進產業與新創交流合作，將許多富含價值的新創團隊介紹給產業界人士。

此次「2020智慧工廠論壇」新竹場活動，以「自動化之後，你智慧化了嗎？」為主題舉行D talk議程，並由安堉創新科技、兆米智慧檢測、偲倢科技聯手挑起大樑。

安堉磊晶模擬器，加速建置Ｍini/Micro LED量產廠

安堉創新科技董事長兼執行長傅振昌，闡述如何協助客戶建置Ｍini/Micro LED量產廠，讓一般平均高達新台幣15億元的建置成本、驟減為1億元。

傅振昌指出，安堉能成就上述願景的核心技術在於模擬軟體，可模擬MOCVD所需關鍵零組件的特性，並裝載於腔體的空間設計內，使用戶能輕易升級既有半導體設備，使之成為具備Ｍini/Micro LED等級的新機。

傅振昌表示，建置原廠新機至少需要歷經8個月時間，透過安堉的磊晶模擬軟體，便可活化舊機台，協助用戶獲取時間優勢、加速新製程的開發進程。

談及安堉所能提供的產品項目，首先是MOCVD Showerhead模組，用於改善磊晶膜的均勻性、沉積速率及氣體利用率。其具體做法是，先模擬不同溫度下呈現的變化，接著利用ROP(Rate of Production)方法，決定主要化學反應路徑、可能有上百條化學式，再從中篩選最終11條化學式，做為Showerhead設計基礎。

其次是MOCVD Heater模組，是針對溫度的模擬分析與參數優化技術，用以改善波長的均勻性和Wafer Bowling。

再者為可視化磊晶製程與設備優化軟體(CyberEpi)、是一項流程模擬器，主要藉由創新的多重物理與化學耦合數值模擬分析，輔以高溫流場可視化技術，經由雷射動態拍攝，使用戶直接觀察磊晶製程的高溫動態流場，再結合製程參數實驗，用以計算出優化的模擬分析資料。CyberEpi適用於磊晶製程及設備模組研發，可大幅縮減調整最佳化參數製程時間。

兆米藉由AIoT賦能，掀起AOI新變革

兆米智慧檢測(MegAAOI)總經理萬億中，闡釋「AIoT！席捲自動光學檢測的新革命」。他表示兆米智慧檢測成立於2019年，核心價值在於以人工智慧及雲端/邊緣計算，提升現行瑕疵檢測效率並開創新興檢測應用與商業模式。

MegAAOI設定的自動光學檢測(AOI)業務範圍，涵括晶片封裝檢測、高精密機構件/車載線束/接頭檢測、晶圓檢測等，這些項目皆具有「不規則」、「高價值」和「新應用」共通特質。

至於業務模式包括3項，第一是「專案」，幫助客戶提升既有AOI機台的檢測效能，主要流程依序是取像照片、標註資料、AI訓練、部署至AI邊緣推論電腦，最終進行機台控制。

第二是「產品」，例如「AI AOI 6面體檢測機台」，可針對6面機構待測件、從12個不同角度進行瑕疵檢測，可檢出的瑕疵種類包含異物雜質、凹陷、汙損、變形、汙染、毛邊、爬膠及毛邊。另提供「AI AOI COF封膠檢機台」，可對COF封裝上膠後待測件上、下雙層進行瑕疵檢測，可檢出假焊、起泡、爬膠、毛邊等瑕疵類型。

第三為「設備即服務(MaaS)」。萬億中認為，可加速AI AOI機台實踐MaaS的有利因素，首先是疫情提高客戶對聯網機台的接受度，設備聯網後，將有助於租賃或使用付費(pay as you go)商業模式的推廣，其次使用AI無須與標準圖像做比較，對圖像抓取角度寬容度高，此點造就AI機台成本比以往專架系統低，以上均為AI聯網機台可挑戰MaaS的有利因素。

論及AOI的課題，除要讓漏殺率趨近0外，亦需設法讓No-Go待測件的誤殺率降到愈低愈好。透過兆米協助，誤殺率可從早期人工目視檢測的XX%(雙位數)、專家系統AOI的X%(單位數)，降到0. X%新低點，以減少停機複檢及修復的次數、提高產能，並降低人力與材料的損耗成本。

偲倢SmaSEQ平台，讓自動化不再耗時費力

偲倢科技執行長陳青煒指出，客戶推動智慧製造的目標，在於強化少樣多量生產、柔性化產線，及大數據分析優化生產等能力，然而欲實現這些目標，有著諸多困難性，例如不易培養軟體整合人員，此外專案複雜度也偏高。

為協助客戶解決痛點，偲倢推出標榜簡單、快速和直覺的SmaSEQ專案編輯軟體，提供易於操作的工具介面，為機器視覺、機械手臂、運動控制等模組制定標準化設置環境；用戶僅需利用滑鼠點擊、拖拉編排即可完成設定，讓自動化不再耗時費力。

陳青煒指出，SmaSEQ包含自動化、通訊、機器視覺、運動控制等用途，採用模組化方式，有別於傳統產線上每個設備都需獨立的軟體來操作，用戶一旦善用SmaSEQ，僅需單一平台便可完成整個產線的流程編譯，具備許多一般獨立設備所沒有的優勢，足以大幅提高生產效能。

綜觀SmaSEQ基礎功能，首先是「Sequence」，以邏輯與順序概念串連所有模組。其次為「SmaCOM」，支援TCP/IP、Modbus(RS-232、RS-485)、OPC UA等多種常見的工業通訊標準，使用者只需動動手指頭輸入通訊連線的相關參數，即可快速完成與外部設備之間的資訊交流。

第三是「SmaDIO」，整合數種數位訊號卡，用戶只要接上它，便可立即擴充數位I/O訊號點。最後為「SmaOI」，專案開發人員可根據操作員的需求，為每個Sequencer(流程編輯器)建立專屬操作員介面。

SmaSEQ平台支援的應用場景甚多，譬如「SmaROBOT」整合許多手臂控制功能，讓使用者輕易實踐物料移載或零組件裝配；「SmaVISION」提供多樣的視覺演算功能，使用者可針對產品外觀特徵與檢測需求，自由快速地設計專屬應用程式；「SmaAI」為深度學習視覺檢查工具，適用於多產品線、多缺陷的檢查應用。

SEMI高科技新創媒合會 鏈結高科技大廠

工商時報 涂志豪

國際半導體產業協會（SEMI）與科技部旗下台灣科技新創基地（TTA）於台灣國際半導體展（SEMICON Taiwan）期間舉辦高科技新創媒合會，集結13家來自半導體材料、設備、設計及應用等領域的新創團隊發表技術，吸引近70位國內外高科技大廠高階主管及創投投資人到場交流互動。

為促成高科技企業和新創互補合作，SEMI在科技部指導下，舉辦「TTA x SEMI Startup Challenge」活動，期能發掘足以創造下一個世代成長動能的優質新創。本次活動經初審、複審兩階段遴選出13家優秀新創，包括提供Mini LED、Micro LED量產所需軟硬體解決方案的安堉創新，以及半導體材料檢測新創邑流微測和兆晟奈米，前者提供的AI流體檢測方案已導入半導體產業，後者奈米粒子監測系統可精準量測出小至3奈米的粒子。

此外，台大矽光子與有機太陽能電池實驗室技術延伸的台灣奈微光是全球第一家基於CMOS製程的感測IOC（Integrated Optical Circuit）設計公司，目前已開發出先進矽光醫療檢測與感測晶片。

SEMI全球行銷長暨台灣區總裁曹世綸表示，半導體成熟企業太過強大，新創公司進入這個產業的門檻相當高且募資不易，因此純半導體新創的投資案件相對較少。不過，這類新創一旦出現，往往會對整個高科技產業帶來破壞性的創新動能。

曹世綸指出，新創事業進軍全球市場誠屬不易，若能順勢利用台灣半導體產業的優勢地位，開發可供半導體業者採用之產品、技術或垂直應用方案，就有機會站在巨人肩膀上前進世界。

為促成高科技企業和新創互補合作，SEMI今年開始成立高科技創新創業平台，定期聚集國內外高科技企業領導人、企業創投、傳統創投、新興科技及財顧專家等成員，彼此交流投資經驗、產業趨勢及外部創新工具等議題，並透過促成成熟企業與新創事業互補合作，協助新創鏈結產業，取得募資、商機及技術合作等機會。

安堉創新 掌握MOCVD技術就是掌握未來

Micro LED未來將成為顯示技術主流。但LED製程機台的關鍵零組件多掌握在原廠手中。安堉創新研發國產自主硬軟體設備，讓臺灣LED廠商掙脫原廠束縛，打開未來新局。

細心感受，你會發現世界樣貌愈來愈不一樣，車上的行車輔助、娛樂系統變多，手機變得很聰明，傳輸速度更快、更省電，還可以用臉部解鎖。

未來呢？2019年開始，美、韓兩國的5G已經進入商轉，2020年開始會有更多國家加入；在此同時，尺寸只有現在LED百分之一大小的Micro LED技術，也將在未來幾年逐步成熟、進入量產，正式翻轉顯示產業，這些改變將帶來龐大商機。

無論是5G或Micro LED，甚至是半導體製程，都會應用到MOCVD技術（Metal Organic Chemical-Vapor Deposition，簡稱MOCVD，意即金屬有機化學氣相沉積技術）。在上游廠商蓄勢待發時，支援生產製造的下游廠商，準備好了嗎？

工研院新創事業，推動設備國產自主

由工研院機械所團隊獨立出來的新創公司-安堉創新，針對這個問題，似乎已經有了答案。

安堉創新總經理傅振昌及其團隊成員，早期服務於工研院機械所時，就已投入MOCVD的噴灑頭（Showerhead）與製程設備優化軟體（CyberEPI）的研發。

對工研院機械所推動新創事業來說，主要動機是基於國產自主，並解決業者產線調機困難問題。在技術上，則堅持磊晶是電子及半導體產業的基礎能力，無論市場如何變化，臺灣業者都必須完全掌握製程能力與差異化，因為唯有如此，才不致受限於外國廠商。

看準MOCVD未來的潛力商機與技術獨特性，傅振昌及研發團隊自2018年6月正式成立安堉創新，預備以MOCVD技術，在市場大顯身手。

掌握磊晶製程，擺脫受限國際大廠的困境

所謂的MOCVD，其技術原理是在設備內部注入特殊氣體，並透過加溫讓氣體起化學反應，產生金屬有機化合物，沉積在機台裡面的基板上，形成原子排列而且整齊堆積的薄膜，這也就是所謂的「磊晶」。

MOCVD除了是磊晶製程中使用的重要儀器之外，也是生產LED的主要機台，而其中，噴灑頭為關鍵零部件。

傅振昌分析，MOCVD對LED產業與化合物半導體都十分重要。以LED產業來說，目前市面上常見的LED，大多用於照明或裝飾，也有廠商做成戶外電子看板，不過這些應用，LED顆粒都相當大。

近年來，科技產業啟動Mini LED、Micro LED等新技術，讓LED顆粒更小。以Micro LED為例，體積只有LED的百分之一，體積小、反應時間快，加上具備自發光特色，有機會取代如今的LCD螢幕。

至於化合物半導體，是新一代高頻通訊元件的重要技術，未來5G所要求的傳輸速率更高，化合物半導體勢必成為重要零組件，市場也隨之快速擴大。

不管是Mini LED、Micro LED、化合物半導體，都需要透過MOCVD製造。傅振昌分析：「依照臺灣目前磊晶技術狀態，想抓緊未來龐大的商業價值與利潤比例，恐怕不容易有所突破。」

所幸，安堉創新近年來研發出全新MOCVD技術，將可突破此困境，讓臺灣LED產業得以透過軟硬體整合，減少產品成本與上市時程。

創新硬軟體設備，提高生產效能

安堉創新在MOCVD技術的突破點，從關鍵零部件-噴灑頭（Showerhead）開始，其原理像是家裡浴室的蓮蓬頭，只不過一個是噴水，一個是噴氣體。

MOCVD運作原理以氣體的化學反應為核心，氣體狀態是製程關鍵。現在的MOCVD機台，要混合兩種氣體時，是用兩個噴管同時噴出氣體，不過雙管的時間、氣量不容易拿捏。而安堉創新研發的MOCVD機台，則是使用同心圓管，由內外兩圈噴灑不同氣體，在氣體噴出瞬間就已均勻混合，金屬化合物的沉積也因此更均勻、良率更高，使用的氣體流量更比原技術少10％。

要讓化學反應一如預期，使沉積精準，所有條件都得到位，硬體只是其中一環，另一個關鍵技術是設備參數與配方。譬如：溫度、氣體壓力、氣體流量，各項參數值必須非常精準，配方也要最佳化，這項專業正是各磊晶廠競爭力所在。

不過，要培養此專業能力往往需要長時間累積，以目前狀況來說，磊晶製程人員要從MOCVD機台原廠所附的資料庫中，測試尋找參數與配方，時間上花費將近一星期。為解決時程問題，傅振昌團隊便開發出「可視化磊晶製程與設備優化軟體（CyberEpi）」。

CyberEpi的好處，是透過不斷運算過去晶圓廠中所累積的大數據，從數據與結果之間的關聯性，找出最佳值，再透過AI強化預估值。目前CyberEpi的預估值已可達98％精準度，大幅縮短蒐集資料時間，與之前從原廠資料庫逐筆判讀的做法相比，使用CyberEpi僅需要2小時即可獲取所需數值。

以關鍵零組件協助客戶舊機活用

除了大幅改善噴灑頭品質、縮短開發時程，安堉創新MOCVD技術的最大商業價值，在於掌握MOCVD關鍵零組件，使臺灣業者不再受制於國外大廠。

目前，多數臺灣LED業者使用的MOCVD機台，多購自國際大廠，噴灑頭通常內建於MOCVD機台中，一併送至產線。若因產線製程改變必須更換零組件，得耗費時間與原廠交涉，加上供應鏈多在歐洲，難以配合臺灣業者提供客製化設計，導致目前產線上的MOCVD舊機難以活用。

傅振昌指出，一部全新MOCVD機台售價將近新台幣一億元，對業者來說，不可能任意購置新機，處理舊機又是一大難題，若能導入安堉創新的軟硬體設備，讓舊機台得以活化使用，將為公司省下大量成本。

目前，市場的MOCVD總量，光臺灣就將近200台，再加上中國大陸的舊機，市場總值十分驚人。尤其Micro LED後勢看好，臺灣LED廠商投入發展勢在必行，因此，未來安堉創新的發展潛力十足。

回想起研發過程，傅振昌分享：早期工研院機械所的技術團隊資源有限，甚至在沒有科專補助的情況下，團隊只能靠多年來一點一滴累積技術能量。這其中，還曾經歷中國大陸政府對LED的補助及傾銷，導致市場價格遽降的困境，加上Micro LED尚未被重視，各方對MOCVD技術前景並不看好，連帶增加研發困難度。

此外，MOCVD的模擬牽涉廣泛。譬如：各種物理化學的機制與反應的確實掌握，以及上百條方程式的參數設定、互相影響的因子釐清，都不是短期內可以達成。不過傅振昌也認為：即使困難多到數不清，不過為了協助臺灣LED與化合物半導體產業，實現設備國產自主的理想，團隊仍然咬牙克服所有挑戰。

眼光精準及執行力是成功關鍵

目前，安堉創新已握有多項軟硬體專利，技術也獲得全球肯定。噴灑頭模組在2014年拿到國家發明獎，CyberEpi軟體則在2017年獲得有科技產業奧斯卡之稱的全球百大科技研發獎（R&D 100 Awards）。

自成立至今短短兩年，噴灑器已有廠商採用，CyberEpi軟體為訂製出貨，目前則已接到2020年的訂單。

綜觀安堉創新的成功，除了扎實技術外，選對研發項目及高執行力，更是重要因素。譬如：噴灑頭是關鍵零組件，構造和運作極為精密，技術又掌握在歐美廠商手中，要有精準眼光與勇氣，加上強大的執行力，才能逐步突破研發挑戰，建立起競爭者難以跨越的門檻。

至於未來發展，傅振昌指出，LED業者現已展開行動，布局Micro LED與Mini LED市場，掌握生產設備的關鍵零組件，則是重要策略之一。而安堉創新除了持續強化MOCVD硬軟體技術外，也將透過現有設備，協助業者活化舊有MOCVD機台、縮短生產時程，即時抓緊商機，更能順勢切入MOCVD的國際供應鏈，讓臺灣在此產業的競爭力，往上提升到另一個層次。

金屬有機化學氣相沉積MOCVD關鍵軟硬體技術簡介
定義：是一種製備薄膜材料的技術
特色：混合兩種特殊氣體，形成化學反應，將反應物沉積於晶片表面，形成半導體結晶膜，進而製成半導體發光材料
影響：改善既有噴灑頭的品質與開發時程
市場成就：改善MOCVD噴灑頭勻度與氣體使用量，製程與設備優化軟體((CyberEpi))可將製程配方尋找時間由過去的2週縮短至2小時，同時藉由關鍵零組件的掌握，活化舊有機台，協助LED業者不再受制於國外大廠
研發困境：過去MOCVD為雙噴灑頭，氣體噴灑勻度不佳，安堉創新採用同心圓銅管內外圈同時噴灑氣體，第一時間融合氣體，並提升噴灑均勻度。此外，MOCVD製程配方尋找只能從原廠提供的資料庫比對配置，製程與設備優化軟體則透過大數據與AI，縮短最佳化配方組合配對時間

安堉創新科技傅振昌 打造國產半導體設備供應鏈

台灣作為全球LED與半導體晶片生產重鎮，長期仰賴國外昂貴生產設備，不只讓成本居高不下，技術發展也因此受限。現在這個讓業界困擾已久的痛點，在工研院新創公司，安堉創新科技的創新研發下，可望有所突破。

工程系統出身，安堉創新科技總經理傅振昌（上圖中坐者）自美國學成歸國後，就進入新竹科學園區工作，後來到工研院任職，這一待就是10多年。在這段時間，他下功夫研究許多工具機與相關設備，發現國內半導體產業產值雖占台灣GDP比重高，但無論機組設備或是零組件幾乎都來自國外，很少是由本土自製。

「國外機械工藝技術能量都是累積多年而成，精緻度很難被複製，如果台灣現在沒有投入研發相關技術，未來只會更落後，」身處於強調創新與前瞻研究的工研院，激發傅振昌找出突破點的決心，第一步就從「有機金屬化學氣相沉積設備（MOCVD）磊晶設備」開始著手。

軟硬整合　活化舊有機台

MOCVD是LED與半導體產業最為重要且複雜的製程設備，其中氣體噴灑頭（Showerhead）更是決定MOCVD機台生產良率的關鍵零組件，當中就包含精密製造、流體跟氣體研究等尖端技術，而這些技術恰好都是台灣廠商的強項，「既然如此，我們何不朝這個方向試試看？」於是傅振昌便率領團隊，開始投身噴灑頭軟硬整合的技術研究。

經過多年的潛心鑽研，傅振昌與團隊研發出「氣體噴灑模組」，裝入既有的MOCVD設備機台進行製程測試，能讓磊晶品質有效提升，關鍵就在於將2種氣體噴灑在基板上形成磊晶的方式。傳統噴灑頭是以雙管同時噴出，團隊研發的創新噴灑方式則是利用一個同心圓管，分成內、外雙圈來噴灑，氣體沉積形成的表面分布均勻，讓終端產品的亮度與光譜效果更勝以往。

與之搭配的軟體研究也大有斬獲，原本MOCVD設備就像是個黑盒子，磊晶人員將所有材料放進去後，只能等待最後結果出爐，傳統作法就是一直試、一直試，從錯誤的結果中調整溫度、壓力、流量與轉速等各項生產參數，耗費材料與人力不說，往往還要花上1到2周時間，才能試出「可能是最佳配方」的結果。為了改善尋找最佳配方的效率，傅振昌與團隊開發出「可視化磊晶製程優化軟體」，可實際觀測MOCVD腔體內的熱流層與氣流層變化，協助磊晶人員找到最佳化製程參數，就像把「黑盒子變得透明」！不僅製程準確性提高，更將開發時間縮短為2小時，這項頂尖技術，讓團隊在2017年獲得素有科技界奧斯卡獎之稱的「全球百大科技研發獎（R&D 100 Awards）」的殊榮。

開發LED終端產品　用實力說服客戶

「創業本來不在我的人生規劃之中，」傅振昌表示，工研院的工作環境理想，是創新研發者的天堂，但團隊鑽研MOCVD研究長達7、8年，技術實力頗受肯定，產業也有所需求，若是就此中斷非常可惜，加上這項技術對於台灣未來發展Micro LED、Mini LED都相當有利，「如果因為我們的解決方案能讓台灣在LED產業再創高峰，就不應該錯過這個機會。」

多方力量促成傅振昌走上創業之路，2018年6月安堉創新科技成立。而自公司成立1年來，團隊也持續研發MOCVD另一個關鍵零組件－加熱器（Heater），以求精準控制溫度，除了優化製程系統軟體，更加入人工智慧與大數據等技術，並針對材料部分進行研究，研發的腳步從不停歇，就是要讓做出來的磊晶品質更上層樓。

傅振昌進一步表示，現行MOCVD設備若老舊只能整台淘汰，但一台往往動輒數千萬元，所費不貲；而安堉的軟硬體整合模組解決方案，較外商品牌設備購置成本節省10幾倍，廠商不僅不用花大錢重建生產線，舊有設備也不用束之高閣，直接升級就能製作出Micro LED或Mini LED等級產品，相當符合經濟效益。

照理來說這樣划算的設備，對國內磊晶廠商而言可說是「大利多」，「起初我們很有信心，覺得研發出來的模組表現好，一定很好賣。」然而在勤跑潛在客戶之後，傅振昌才發現完全不是那麼回事：無論他們再怎麼強調模組功能有好、可以省下多少，廠商還是滿肚子疑問，「對客戶而言，品質穩定設備或零組件才是最重要的，突然要更換新模組，對投資龐大的半導體業來說，風險大到難以承擔。」

「不如我們就做給客戶看，」傅振昌在股東支持下，用自己的解決方案在工研院內打造小型的FAB廠，製作出品質優異的UVC LED及Mini LED晶片，更進一步以UVC LED做出第一款消費性產品「UVC LED行動殺菌模組」。經此模組照射過的物品，紫外光能有效破壞細菌的基因，使其無法複製，殺菌效果高達99.9%。安堉還開發了專屬APP，不用送檢驗，可以立即看出使用前後的細菌量，在居家與醫用市場都深具潛力，也讓客戶看見安堉解決方案的優異性能。

企業定位清晰　助本土機械廠升級

從研發人轉換成經理人，傅振昌一路走來可說是披荊斬棘。早在創業之初，他就認定安堉未來是以LED與半導體產業為目標市場勇往直前，而自己的角色則聚焦在技術層面，並效法台積電創辦人張忠謀，扮演好專業經理人，誠信地對待投資者與客戶，讓大家都能獲利，也促使整體產業向上提升。

傅振昌表示，創業後接觸到許多本地優秀工具機與機械廠商，這些中小企業的隱形冠軍，均期待有產業升級的機會，如今安堉與這些夥伴合作，除了能協助其切入半導體業設備製造的供應鏈市場，也希望能藉此翻轉半導體業者長期非買外商設備不可的現象。安堉現正積極申請進駐竹科園區，準備打造自己的Fab廠來證明實力；技術上則持續與工研院合作，開發MOCVD關鍵零組件。

安堉是以MOCVD關鍵零組件為技術核心，如果能打進外商設備廠零組件供應鏈，豈不輕鬆許多？傅振昌認為長期來說並不排斥，但這樣做公司成長性有限，他有更遠大的目標：「安堉不光是要跟國外設備商比，更要開發自家LED終端產品，進一步行銷全世界。」堅定的眼界，似乎已經預示，一個台灣本土產業的明日之星，正在慢慢崛起。

安堉 快攻LED設備 優化製程 奪科技大獎
經濟日報每周日推出「隱形冠軍」系列報導，介紹台灣成功中小企業的發展故事，這些企業大家未必熟悉，但他們正在譜寫一頁傳奇，或許將有機會成為下一個在全球發光發亮的台積電。
安堉創新科技去年才從工研院分割獨立，產品專攻LED產業核心關鍵設備，也就是有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）機台中的氣體噴灑模組（Showerhead），而且還搭配自行開發的軟體系統，協助客戶找到製程參數的最佳配方。對於安堉而言，不只希望產品滿足客戶需求，更希望後續獲得原廠青睞，在台灣與合作夥伴共同建立本土供應鏈。
安堉總經理傅振昌表示，目前產業界對於半導體上下游供應鏈的投資意願很高，但對於上游關鍵設備的投入與關注相對少。在LED生產線中，最重要的設備就是MOCVD，這攸關晶粒的品質，目前主要供應商只有美國、德國的兩家廠商，日本廠商的設備出口更受限制，陸廠近年則是在小尺寸腔體的MOCVD設備方面取得一些成果，台灣相關廠商較少。
傅振昌出身工研院機械所，研究精密機械系統相關題目已有七、八年。他提到，工研院重視基礎工業技術扎根與發展，鼓勵去做大家不敢做的事情，氣體噴灑模組對於MOCVD機台的產出表現很重要，當初評估後認為有能力去做，且MOCVD氣體噴灑頭等相關零組件通常都是由原廠的歐美供應商製作，因此選定MOCVD的氣體噴灑頭研究切入。
在MOCVD機台出貨時，氣體噴灑模組已經建置在內，傅振昌簡單解釋，家中浴室的蓮蓬頭通常拿來噴水，而MOCVD的噴灑頭則用來噴出氣體，是設備中重要的關鍵零組件。既有設備如果要噴灑兩種氣體，在基板上形成磊晶，是採用雙管同時噴出的方式，但安堉的方案則是兩種氣體利用一個同心圓管，分內外圈來噴灑，混合效果較好，氣體沉積所形成的表面會更為均勻分布。噴灑頭的設計會影響表面的均勻度，進而影響最終產品的品質、亮度或光譜等。
傅振昌舉例，這就好比射箭時要兩箭同時命中靶心，別人的方案是由兩個選手分別但同時射向一個靶，比較容易有錯失。安堉是由同一個選手同時射出兩箭，而且兩支箭在射出去的瞬間就合為一體，命中靶心的機率因此高很多。
傅振昌等人在工研院多年的努力，逐步展現成果，其MOCVD氣體噴灑模組獲得2014年的國家發明獎，後續其CyperEpi可視化設計驗證軟體，更在2017年獲得素有「科技界奧斯卡獎」之稱的R&D 100獎。
傅振昌說，他在工研院工作多年，如果不創業，其實可以繼續做到退休，但如此一來，苦心鑽研的技術就無法發揚光大，團隊也沒有更大的舞台可以發揮，甚為可惜，這是促使其從工研院分割獨立安堉的推力。同時，R&D 100獎鼓勵將技術轉化為商品，在技術開發過程中也得到很多外界的回饋，認為這值得投入生產，這則是促成安堉的拉力。
除了氣體噴灑模組等硬體，傅振昌指出，磊晶廠生產晶片所需要設定的參數，包括溫度、壓力、流量與轉速等，高達上百組，要找出「最佳配方」相當不易，這就跟做麵包一樣，從麵團配方、發酵溫溼度到烤溫都得講究，要先找到關鍵參數。
為了找尋關鍵參數，工研院開發出「可視化磊晶製程優化系統」的軟體，傅振昌說，這就像醫院的核磁共振成像（MRI），可讓製程人員先「看」到MOCVD腔體內的熱流層與氣流層變化，在軟體上先充分了解哪些是最佳製程參數，協助磊晶製程人員縮短產品實機的開發時間。
技術開發成熟之後，也評估國內產業界對MOCVD磊晶設備的氣體噴灑模組優化有迫切需求，可以考慮量產，且還有後續下一世代產品可開發，成立公司自然是適合的選擇。傅振昌說，安堉從工研院取得多項技術專利，該公司董事長李聖文對於工研院的技術能力深深認同，因此挹注資金成立公司，希望因應產業所需，並帶動設備供應鏈加速發展。
眼見LED業界的MOCVD設備長期倚賴國外供應商，傅振昌認為，關鍵零組件掌握在國外廠商手上，不利於產品升級與創新研發，安堉是技術自主，透過軟硬體整合平台，可讓設備廠縮短前期開發下世代關鍵模組的時間與成本。
傅振昌說，安堉提供客製化模組，可供磊晶廠現有不同廠牌的MOCVD機台使用，並整合MOCVD在地化供應鏈，降低製造成本，也能協助磊晶廠升級活化舊機，不用花大錢買新設備。
傅振昌認為，現在是化合物半導體應用起飛的機會到來，如5G通訊、車用電子、光通訊、電源控制、紅外線、健康照護、巨量資料、自駕車、Micro LED、UVC LED等，MOCVD是製作前述應用相關磊晶產品的關鍵設備，安堉基於人工智慧與大數據技術的核心，搭配台灣的硬體強項，未來有機會抓住商機。

安堉關鍵零組件 打開市場
安堉的氣體噴灑模組（Showerhead）是創新的MOCVD關鍵零組件，安堉總經理傅振昌表示，目前國內尚無相同設計可導入產業應用，與目前原廠設備零組件相比，性能更好、更具經濟效益，可讓使用的氣體流量減少一成，降低相關成本，也提升磊晶均勻性一倍，在不更動原先設計下，安裝容易，並可延長模組壽命，保養時間可從半年延長為一年。
傅振昌提到，安堉的可視化磊晶製程優化系統，能協助磊晶廠找到最佳化製程參數，縮短產品研發周期，相較之下，MOCVD原廠所附的資料庫，並不具備如安堉提供的磊晶製程預測功能。磊晶製程人員經由安堉這套系統，獲得製程參數的時程可從原先一星期，縮短到2小時。
安堉上述產品已取得多件相關專利，並與工研院持續合作，在用噴灑頭證明技術實力之後，後續開發MOCVD加熱器等零組件。
傅振昌表示，國外MOCVD設備商起步較早，安堉在策略上聚焦於噴灑頭、加熱器、磊晶軟體的軟硬整合技術，目前還不做整機技術，但彈性提供廠商磊晶模組的客製化設計開發，讓客戶有更多內部製程參數掌握度，可確保技術留在自家磊晶廠內。
對於MOCVD氣體噴灑模組的業務擴展機會，傅振昌表示，主要客戶鎖定磊晶廠、原廠設備廠及通路商等，短期內希望努力打入國內磊晶廠供應鏈，中期則期望能通過原廠硬體模組認證，如果成功打入原廠供應鏈，將是首家達陣的台廠，後續可進一步爭取參與成為新機台零組件供應商的機會。該公司明年也規劃與國外的終端業者進行Micro LED與UVC LED的產品應用交流。
至於可客製化的CyberEpi＋AI軟體，安堉則希望擴展LED、無線通訊與太陽能等領域的客戶，並提供相關顧問服務。

公司簡介
2018年6月創立於新竹市，由一群工研院Spin-Off的磊晶專家所組成，專注於Showerhead裝置設計、模擬分析及可靠度等技術超過10年。