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馗鼎奈米科技兩大特色設備 放閃SEMICON Taiwan

2022/09/04 14:25:05 經濟日報 張傑

國內常壓、低壓(真空)電漿設備大廠 - 馗鼎奈米科技，以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下，致力研發大氣各式電漿技術與應用, 包含:抗汙、抗菌、抗靜電鍍膜技術及連續式捲撓傳輸製程（roll to roll, R2R），更在GOG、PEDOT、EMI spray coating、OLED、micro LED、壓電薄膜極化 (piezoelectric film poling)、電漿廢氣處理等新製程開發，均有所斬獲。

公司指出，近幾年公司積極朝向軟性電子領域做開發，所開發出的連續式捲撓傳輸電漿設備(Roll to Roll Plasma)，成功打入國內最大的觸控面板客戶中，同樣是軟性材料的應用，其技術不僅領先同業外，Roll to Roll Desmear、R2R真空貼合也已接獲得電路板大廠的採用及認可。

此次主要針對兩項亮點設備,低壓反應性離子蝕刻設備（Reactive ion etching, RIE），搭配專利的電極設計、氣體流場均勻化的配置、基板載台的流體冷卻系統，達到具有高蝕刻速率、高均勻性與低製程溫度的特點，以及達到高深寬比與非等向性蝕刻等的製程需求，適合用於半導體、封裝與光電等相關領域，進行乾式蝕刻 (Etching) 或灰化 (Ashing) 等製程。

連續式的低壓電漿清潔設備(In-line Plasma Cleaning Equipment)，其特點為可全自動化生產，降低人工取放的動作，進而減少產品受到汙染的風險。搭配專利的水冷式電極與氣體流場設計，可提升產品的清潔效果與均勻性，因此廣泛應用於半導體、封裝與光電等相關領域進行清潔、活化、改質或粗糙化等製程，例如Chip, die, lead frame等的表面清潔與改質，或underfill, wire bonding, molding前的清潔處理等。

目前馗鼎具有共同技術研發能力，不論在觸控面板及軟、硬板製程上，皆具有長足開發能力，且佈局多年奈米材料，於各個產業包含面板、半導體產業不斷尋找出路及開發應用領域，馗鼎奈米將扮演好相當好的研發、製程開發支援者角色，期待可以跟國內的半導體產業、光電產業、固態照明產業共同成長。

該公司相信透由展覽，能為產業先進創造互相交流、共同探討的平台，掌握市場最新趨勢與訊息，開創更有利的競爭優勢與機會。

馗鼎奈米科技公司電話（06）232-3927，www.creating-nanotech.com

『SEMICON Taiwan 2022國際半導體展』，將於9月14日至16日於台北南港展覽館一館盛大登場，馗鼎奈米誠摯邀請各位蒞臨指導。

馗鼎奈米科技 電漿技術領頭羊

國內電漿技術設備指標廠—馗鼎奈米科技，創立17年來，以優越的電漿設備製造能力及鍍膜技術開發技術，大幅提昇觸控面板市場競爭優勢，產品穩定性及可靠度均獲國內、外各面板廠高度肯定，迅速奠定國內電漿設備產業指標地位。

隨著PCB產業逐漸轉化成為「少量多樣」與「多量多樣」的特色化生產模式，國內首間開發常壓電漿設備廠-馗鼎奈米科技，更是國內少數具有電路板產業所需電漿去膠渣設備，與大面積處理常壓電漿設備，亦同時具備PVD與CVD鍍膜生產技術公司。

該公司陳俊欽博士表示，該公司的電漿去膠渣機（PD06）是國內最優越的電漿除膠渣設備，其特殊設計，使該設備擁有電漿處理高均勻性，而全機PC base控制，除了滿足客戶對系統高智能化的生產要求外，也方便第一線人員檢視系統各單元功能，操作相當方便。

在電路板製程中，舉凡各式板材的去膠渣（Desmear）、高頻基板表面活化、光阻殘留物去除、壓合前清潔與粗化、印刷前表面清潔、化金前表面清潔、切割成型後表面清潔、打線、焊接前表面清潔等，都是馗鼎電漿表面處理的應用領域。

陳俊欽博士表示，除了硬板外，針對高階軟板，馗鼎奈米的連續式捲撓傳輸電漿設備（Roll to Roll Plasma），也獲得電路板大廠採用，並與同業有段不小的技術領先。馗鼎積極地利用R2R技術優勢，今年更成功開發R2R真空乾膜壓合機，並已獲得大廠訂單。除了批次式的電漿去膠渣機外，也推出各式常壓電漿設備（寬幅DBD電漿），與面板光電業的應用概念相同，舉凡需要表面清潔、提升潤濕性有關的如電鍍製程前、印刷製程前，馗鼎常壓電漿可有效改善填孔不良及提升印刷品質。此外，產品走向輕薄短小及線路高密度設計，生產流程走向contact-free的概念，並如何提高設備自動化兩項重要課題，都是目前產業積極升級轉型重點。未來也將積極布局車載通訊、穿戴式、虛擬實境以及軟性電子、OLED等領域開發。

馗鼎奈米新製程開發 大廠青睞

國內常壓電漿設備製造大廠-馗鼎奈米科技，以優越電漿開發能力真空鍍膜技術基礎下，近年來佈局PCB產業有成。

該公司陳俊欽博士表示，近幾年積極佈局高精密噴塗技術有成，所開發出抗汙、抗指紋鍍膜技術，輔以電漿技術，可在大氣中（常壓下）鍍膜，機台能直接融入產線，有效減低成本、節省藥水，且鍍膜附著性好。

近期於光電領域的新製程開發，如GOG、PEDOT、EMI coating、SuperBlack均有所斬獲，亦順利取得大廠訂單。

隨著Apple Pay及Android Pay等需求，帶動產業需求，他說，抗指紋鍍膜技術，其關鍵在於藥水使用量要夠少，其技術不論在產品穩定性及品質可靠度上，均超越日本，不僅深獲國內光電大廠肯定，並已接獲訂單，未來也將切入材料市場，以期提供更完善的製程技術。

他指出，近幾年公司積極朝向軟性電子領域作開發，所開發出的連續式捲撓傳輸電漿設備(Roll to Roll Plasma)，已成功打入國內最大的觸控面板客戶中，同樣是軟性材料的應用，其技術不僅領先同業外，Roll to Roll Desmear也已接獲得電路板大廠的採用。

此外，陳俊欽博士表示，除了硬板外，針對高階軟板，馗鼎奈米的連續式捲撓傳輸電漿設備(Roll to Roll Plasma)，也獲得電路板大廠採用，並與同業有段不小的技術領先，除了批次式的電漿去膠渣機外，也推出各式常壓電漿設備(寬幅DBD電漿)，與面板光電業的應用概念相同，舉凡需要表面清潔、提升潤濕性有關的如電鍍製程前、印刷製程前，馗鼎常壓電漿可有效改善填孔不良及提升印刷品質。

馗鼎奈米 觸控面板競爭幫手
國內常壓電漿技大廠-馗鼎奈米科技，以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下，成功開發抗污、抗指紋鍍膜技術，大幅提升觸控面板市場競爭優勢。該公司陳俊欽博士表示，所開發出的常壓in-line抗指紋塗佈設備，為國內首家將電漿技術與AS結合在同一設備上，更是首家採用連續製程的AS設備，產能比同業大1.5倍以上，大幅顛覆傳統的真空製程，亦可大幅降低大尺寸產品鍍膜成本，目前已被世界級品牌大廠認證採用。

有鑑於目前觸控產業全貼合需求，該公司所開發出的常壓in-line抗指紋塗佈設備，將常壓電漿結合抗指紋膜（AS）精密塗佈系統，可搭配上下游產線，溼式清潔後的玻璃，經過常壓電漿後，徹底清潔移除表面殘留的有機物，並於基材表面產生大量的懸浮鍵，再經過AS藥水噴塗後進烤箱，AS藥水脫水與基材表面產生化學鍵結，讓此膜層具有滑順感、易清潔。

輔以所開發出抗污塗料適用的液體流量控制系統，有效提升產品良率，亦可應用AG（抗眩膜）及AR（抗反射膜）塗佈上，常壓in-line抗指紋塗佈設備在設計上，主要是用於平面樣品處理，可廣泛應用在手機、平板、電腦或其他大尺寸面板上的抗污鍍膜應用。

目前該設備已成功切入封裝大廠中，且連續式捲撓傳輸製程（Reel to Reel）設備，亦成功打入國內最大的觸控面板客戶中，未來也逐漸布局車載通訊、穿戴式、虛擬實境以及軟性電子、OLED等領域開發。

馗鼎奈米 電漿設備指標廠

國內電漿技術設備指標廠-馗鼎奈米科技，創立14年來，以優越的電漿設備製造能力及鍍膜技術開發技術，大幅提升觸控面板市場競爭優勢，產品穩定性及可靠度均獲國內、外各面板廠高度肯定。